Plasma indikatortejp är ett intelligent detektionsmaterial speciellt använt för vakuumsystem och plasmaprocesser. Det ger realtidsfeedback på nyckelparametrar genom speciella fysikaliska och kemiska förändringar. Den kan intuitivt visa plasmatillstånd och mikroläckor som är osynliga för det mänskliga ögat.
1. Försiktighetsåtgärder vid användning av plasmaindikatortejp
(1). Ytförbehandling
Innan limning ska ytan som ska testas rengöras med aceton eller isopropylalkohol. Efter avtorkning, låt det stå i 2 minuter för att säkerställa att lösningsmedlet är helt avdunstat. Ytenergin efter behandling bör vara ≥38dyn/cm, vilket kan verifieras med ett dynpennatest. Rör inte den självhäftande ytan direkt med fingrarna för att undvika oljeförorening som kan orsaka minskad känslighet.
(2). Klistra in operation
Efter att du tagit bort indikatortejpen från den antistatiska släppfilmen, rulla den långsamt längs ena änden och applicera ett jämnt tryck på 0,5-1 kg/cm². Använd en silikonskrapa för att trycka på kanten för att eliminera bubblor. Små bubblor med en diameter på ≤1 mm är tillåtna. Efter inklistring, låt den stå i 5 minuter för att tillåta limskiktet att jämna ut helt. Upprepad peeling och inklistring är strängt förbjudet. Varje omklistring gör att limmet minskar med mer än 50 %.
2. Felkriterier för plasmaindikatortejp
(1) Kriterier för fysiskt misslyckande
Skador på underlaget: synliga sprickor (längd > 2 mm) eller delaminering uppstår och underlaget utsätts för irreversibel skevhet (böjradie > 15°).
Vidhäftningsfel: limytans restarea > 5 % (påverkar återvidhäftningen), fläkhållfastheten sjunker till mindre än 30 % av utgångsvärdet (måste testas med en dragprovare).
Kontaminering och korrosion: oretagbara partikelföroreningar fäster på ytan (partikelstorlek > 50μm och densitet > 3/cm²), och substratet eroderas av plasma för att bilda hål (diameter > 1 mm).
(2) Kriterier för kemiskt fel
Onormal färgförändringsreaktion: under standardförhållanden (som 50W argonplasma) överskrider färgändringstiden det nominella värdet med ±30 %, och färgförändringsområdet visar ojämn diffusion (skillnad i färgfläcksdiameter > 20 %).
Beläggningsfel: känslig beläggningsavskalningsarea > 10 % (mikroskopobservation), ΔE-värdet sjunker > 40 % efter upprepad användning (spektrofotometerdetektion). Skador på kemisk stabilitet: Substratförsprödning inträffar efter exponering för frätande gaser (som Cl₂, F₂) och kumulativ exponering för en ozonkoncentration över 0,2 ppm i mer än 24 timmar.
Plasmaindikatortejp måste bytas ut om följande tillstånd inträffar:
Sprickor eller delaminering som är större än 2 mm långa utvecklas på substratet; Återstående limyta större än 5 % påverkar omtejpningen; Svarstiden för färgbyte ökar med mer än 50 % jämfört med initialvärdet; Ackumulerad exponeringstid överstiger tillverkarens angivna livslängd.
3. Förvaringsvillkor för plasmaindikatortejp
(1) Miljökrav
Temperatur: 15-25 ℃ (fluktuation <±3 ℃/h)
Ljussäker: UV-intensitet <10μW/cm²
Dammtät: Renhetsklass 1000 eller lägre
(2) Förpackningsspecifikationer
Original aluminiumfoliepåse förseglad (vattenångöverföringshastighet <0,1g/m²/dag)
Förvaras från marken i ett antistatiskt skåp (ytmotstånd 10³-10⁶Ω)















‘S-Gravenweg 542, 3065SG RotterdamNederländerna
+31 (0) 10 254 28 08






